Меню Рубрики

Установка плазменное напыление булат

Установка плазменное напыление булат

Вакуумное ионно-плазменное напыление – заключительный этап изготовления детали. С его помощью формируется покрытие изделия металлом, сплавом или химическим соединением.

Ионно-плазменное напыление

Ионно-плазменное напыление – разновидность катодного способа нанесения материала на поверхность изделия. Процесс производится путем бомбардировки подложки ионами плазменного вещества газовым разрядом.

К преимуществам ионно-плазменного напыления относят:

  • Высокое качество сцепления и равномерность покрытия.
  • Не изменяется стехиометрический состав поверхности изделия.
  • Возможность покрывать деталь тугоплавкими и неплавящимися материалами.
  • Контроль свойств напыления в процессе нанесения.
  • Управление составом мишени в течение всего процесса.
  • Возможность очищать поверхность подложки и растущего покрытия.

Состояние плазмы вещества достигается с помощью катодного пятна. Его размер измеряется в микрометрах, но температура развивается такая, при которой любые материалы превращаются в высокоионизированный газ. При всех достоинствах ионно-плазменное напыление наноуглеродных покрытий имеет ряд недостатков в сравнении с другими методами:

  • Небольшая скорость рабочего процесса 3 мкм/мин.
  • Загрязнение в материале за счет плавления катода.
  • Габариты камеры лимитируют размер детали.

Для изготовления радиотехнических деталей используется ионно-плазменное напыление нитрида титана. Такое покрытие получило распространение при изготовлении кровельных материалов благодаря антикоррозионным свойствам и эстетическому виду. Основой служит нержавеющая сталь.

Покрытие осуществляется в два этапа в условиях вакуума. Сначала наносят слой титана, который служит переходным материалом между подложкой и основным слоем нитрида титана. Толщина 2-х слоев не превышает 40 мкм. Достоинства ионно-плазменного напыления нитрида титана:

  • В условиях вакуума обеспечена чистота состава покрытия, благодаря этому цвет и адгезия стабильны в течение длительного времени.
  • Использование высокой температуры при напылении гарантирует максимальное сцепление поверхностей основы и титанового покрытия.

Для осаждения атомов титана используют специальную вакуумную камеру.

Установки ионно-плазменного напыления

Установки ионно-плазменного напыления разрабатываются на основе двух схем: «Булат» и «Пуск». Их рабочие камеры устроены так, что возможно нанесение качественной однородной и многослойной мишени в условиях сниженной температуры.

Оборудование для ионно-плазменного напыления состоит из следующих частей:

  • цилиндрический корпус;
  • водоохлаждающая система;
  • вакуумная система;
  • электродуговой испаритель;
  • основа;
  • электрическая часть;
  • механизм вращения;
  • дверца.

Дверь расположена на боковой стенке корпуса, образуя вакуумную камеру. Стенки двойные, внутри находится полость водоохлаждения. На поверхности стен установлены электродуговые испарители. Их количество 2 шт. Третий испаритель расположен на дверце. Водоохлаждающая система состоит из труб и распределительной панели, оснащенной воронкой для зрительного контроля над протоком жидкости. Также на ней расположены датчики уровня. На коллекторе установлены вентили, с помощью которых регулируется расход воды. Давление в камере обеспечивается вакуумной системой. Остаточное давление регулируется автоматическим регулятором напуска газа. Вакуумная система состоит из 2-х видов клапанов: с электромагнитным приводом и напускного контролируемого. Также включает в себя электронный блок управления. Механизм вращения находится внутри основы, там же расположены блоки поджига дуги. Снаружи основы находится вакуумная система, панель, регулирующая водоохлаждение, электронный ключ. Наиболее востребованы следующие установки ионно-плазменного напыления:

Их отличия заключаются во внешних размерах, скорости покрытия, габаритах вакуумной камеры, доступных показателях напряжения на детали и энергии однократных ионов.

Принцип работы у всех установок одинаков. Подложка подготавливается и закрепляется в технологической оснастке. Создается вакуум в камере. Затем включают электропривод, передающий планетарное вращение вокруг своей оси деталям. Также подложка вращается вокруг катода. После приведения в движения детали и катода, который возвратно-поступательно ходит вдоль основной оси, включают катушки анода. Приводится в действие электромагнитный фиксатор, начинается подача электрического потенциала смещения с отрицательным показателем на подложку. Затем возбуждается вакуумный дуговой разряд между катодом и анодом. Горение разряда поддерживает инверторный источник питания. Мишень превращается в плазму, которой покрывают деталь.

источник

Установка плазменное напыление булат

Особенности ионно-плазменного напыления и характеристика устройства

Сегодня существуют различные виды напылений, применяемых в авиационной, автомобильной, приборостроительной, космической, медицинской отрасли. Самым распространённым является ионно-плазменный, ведь он создаёт на поверхности обрабатываемого объекта плёнку, защищающую от повреждений. Дополнительно его используют, в качестве декоративного покрытия.

Что такое ионно-плазменное напыление

Ионно-плазменное напыление – покрытие, представляющее собой многомикронную вакуумную плёнку. Этот способ обработки поверхностей основан на распылении химических веществ в вакуумном пространстве, где материалы конденсируются и испаряются, образовывая защитный слой.

Вакуумное ионно-плазменное напыление обладает такими преимуществами:

  • Позволяет обрабатывать поверхности при низкой или повышенной температуре, достигающей 100˚C.
  • Равномерно наносится на детали, даже если они имеют неправильную, сложную геометрическую форму.
  • Толщина напыления может быть произвольной 0,01 – 20 мкм.
  • Обработанная поверхность не требует дополнительной обработки другими материалами.
  • Изделия, обработанные вакуумным напылением, могут использоваться в различных промышленных отраслях, даже при повышенной температуре и в неблагоприятных условиях. При этом металлы, практически не подвергаются коррозии.
  • Благодаря ионно-плазменному напылению повышается износоустойчивость детали.

Такой метод обработки широко востребован в медицинской области, в качестве защитно-декоративного покрытия. Тогда, обработка позволяет укрепить изделие и сымитировать цвета драгоценных металлов, требующихся для изготовления протезов или зубных коронок.

Кроме того, ионно-плазменное напыление нитрида титана (вакуумное) используют для нанесения диэлектрических, проводящих, полупроводниковых, тонкоплёночных гибридных микросхем (в электронике), нанесения отражающих либо просветляющих слоёв (в оптике). Также, ионно-плазменную обработку применяют для напыления наноуглеродных покрытий, тонировки автомобильных стёкол и металлизации банок из стекла/пластика.

Ионно-плазменное напыление: оборудование

В качестве материалов для повышения износоустойчивости деталей, обычно применяют композиции, сплавы, карбиды и нитрид титана, получаемый при использовании азота и титанового катода. Качество готового изделия зависит от характеристики поверхности, давления газа внутри модуля устройства, качества очистки обрабатываемой детали ионами и химической чистоты материалов, применяемых для ионно-плазменной обработки.

Читайте также:  Установка алмазного бурения герат

Впервые плазменно-ионное оборудование появилось ещё в 1980-х годах. Самыми первыми моделями таких установок стали:

Самой популярной из них, является установка ННВ-6.6, применяемая для обработки практически всех разновидностей нержавеющих металлов, деталей и инструментов. В результате получается высококачественное изделие с многослойным или однородным декоративным/защитным покрытием.

Ионно-плазменное оборудование требует больших энергозатрат, что делает процесс напыления дорогостоящим, поэтому многие компании предпочитают использовать более дешёвый аналог обработки поверхностей – атмосферное плазменное напыление.

Установки ионно-плазменного напыления

Установка ионно-плазменного напыления может быть:

  • Периодического.
  • Непрерывного действия.

Первая подразумевает собой однократную обработку поверхностей и создаёт 1 слой напыления. Второй же способ предназначается для массового производства листов, имитирующих, например золото. Установки непрерывного действия бывают однокамерные многопозиционные и многокамерные.

  • Однокамерные многопозиционные имеют несколько постов, находящихся в общей вакуумной камере. При этом они соединены между собой роторным или конвейерным устройством.
  • Многокамерные оборудованы последовательными модулями, объединёнными шлюзовыми камерами и конвейером, предназначенным для транспортировки обрабатываемых материалов. Каждый модуль оснащён контроллерами, оценивающими состояние деталей или изделий во время термообработки.

Системы и узлы плазменно-ионных установок после пуска представляют собой самостоятельные устройства, выполняющие определённую программу:

  • Образование вакуумного пространства.
  • Электропитание.
  • Распыление вещества, образующего плёнку.
  • Контроль процесса напыления и плёночных свойств.
  • Транспортировку обрабатываемых деталей.

Следовательно, такая установка самостоятельно осуществляет обработку изделий, контролирует весь процесс и энергопитание, устраняет излишние газы и создаёт вакуумное пространство, благодаря чему качество напыления увеличивается вдвое, сравнительно с атмосферным плазменным напылением.

источник

Продам Продам Булат-6

Предлагаю к поставке установку ионно-плазменного напыления Булат-6
1992 г. в. Установка без эксплуатации. Стоимость — договорная.

Дополнительная информация и фото по запросу.

Имя: Юрий — Другие объявления Юрий
Номер объявления: 28885 Сделать VIP-объявлением
Город: Ярославль
Страна: Россия
Категория: Продам
Просмотры: 9557
Добавлено: 18-01-2020 19:44

Нажать для ответа на объявление: «Продам Булат-6»
Категория: Станки / Продам / Продам Булат-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления БУЛАТ-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления БУЛАТ-6
Добрый день Юрий! Хотим пообщаться насчёт Булата. Вышлите пожалуйста номер телефона.
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
Заранее спасибо.
С уважением Роман.

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Юрий, здравствуйте!
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Меня интересует установка «Булат».
Прежде всего цена и какие материалы можно обрабатывать,
в частности можно ли обработать углеродную нить оксидом меди?

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Здравствуйте.
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Аппарат в рабочем состоянии и какая цена

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Цена

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Здравствуйте
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
вышлите фото установки
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Здравствуйте,
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
булат продаёте?

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Здравствуйте
Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
фото по запросу
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Продам рабочую установку ННВ 6.6 И1

Продам рабочую установку ННВ 6.6 И1, полная комплектность, применяется в работе,
цена договорная 89272310044

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Свяжитесь пожалуйста со мной, не вижу ваши контакты

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Здравствуйте
Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
фото по запросу
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6,6 И1

Продам рабочую установку ННВ 6.6 И1, полная комплектность, применяется в работе,
цена договорная 89272310044

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Добрый день!
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Сообщите более подробно информацию об установке, есть ли фото, цена.

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Цена 350000. реальному покупателю хороший торг.
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
Все вопросы по телефону
+79064223981

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Здравствуйте.
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Какой размер камеры? Есть ли у вас электроды для покрытия нитридом титана? Какова цена?

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Куплю вакуумную установку ННВ 6 6 и 1 Булат 6

Здравствуйте Юрий, меня интересует вакуумная установка ННВ 6 6 и 1 и Булат 6, прошу отправить фото и цена заранее благодарен с уважением Закир.

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6
город волжский волгоградской области.
тел.89610614205
фото перешлю
звоните жду

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Здравствуйте.
Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Сообщите, Какой Ваш город и если можете, отправьте фото установки

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Читайте также:  Установка карбюратора на скутер 139qmb

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6 в рабочем состоянии используется только для напыления зубных протезов нитридами титана циркония. исправна. есть запасные части.
цена 400 000 р.

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Прошу мне позвонить на предмет покупки у вас установки булат 6. мой тел: 89823374312 Владимир

Продам установку для ионоплазменного напыления

продам установку булат 6 в рабочем состоянии сзапасными частями возможно обучение телефон 89610614205 город волжский волгоградской области

Куплю вакуумную установку ННВ 6 6 и 1 Булат 6

Здравствуйте , меня интересует вакуумная установка ННВ 6 6 и 1, Булат-6, прошу отправить фото и цена заранее благодарен с уважением Закир.

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Цена 350000. реальному покупателю хороший торг.
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
Все вопросы по телефону
+79064223981

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6
Интересует комплектность, исправность, цена установки Булат

Куплю установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Куплю установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Напишите цену и комплектность установки ННВ — 6, 6 — И1

Сергей (Поиск объявлений от Сергей) пишет:
12-12-2019 03:13

Продам Вакуумная установка напыления ННВ 6, 6 И1, Булат

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Сергей (Поиск объявлений от Сергей) пишет:
12-12-2019 03:14

Продам Вакуумная установка напыления ННВ 6, 6 И1, Булат

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6,6 И1

Продам рабочую установку ННВ 6.6 И1, полная комплектность, применяется в работе,
цена договорная 89272310044

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6,6 И1

Продам рабочую установку ННВ 6.6 И1, полная комплектность, применяется в работе,
цена договорная 89272310044

Куплю установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Добрый день.
Какая цена на установку Булат 6?

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1

Продам установку вакуумного напыления ННВ 6, 6 И1
Пишите на E-mail указанный в уведомлении.
+375296772231

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6

Продам установку ионно-плазменного напыления Булат-6
У меня есть рабочая установка

источник

Булат (установка)

Вакуумно-дуговое нанесение покрытий (катодно-дуговое осаждение) — это физический метод нанесения покрытий (тонких плёнок) в вакууме, путём конденсации на подложку (изделие, деталь) материала из плазменных потоков, генерируемых на катоде-мишени в катодном пятне вакуумной дуги сильноточного низковольтного разряда, развивающегося исключительно в парах материала электрода [1] .

Метод используется для нанесения металлических, керамических и композитных плёнок на различные изделия.

Метод также известен под названиями: катодно-дуговое осаждение (англ. Arc-PVD ), метод КИБ — катодно-ионной бомбардировки или, по-другому, метод конденсации вещества из плазменной фазы в вакууме с ионной бомбардировкой поверхности [2] (последнее — оригинальное авторское название создателей метода). Также известны названия «ионно-плазменное напыление», «конденсация с ионной бомбардировкой»

Содержание

История

Промышленное использование современных вакуумно-дуговых технологий берёт своё начало в СССР. Впервые систематические исследования и разработки вакуумно-дугового метода и оборудования с целью их адаптации к условиям индустриального производства были начаты одним из научных коллективов Харьковского физико-технического института (ХФТИ) ещё в конце 60-х годов XX века [3] (и продолжаются по настоящее время [4] ).

В 1976—1980 годы началась разработка техники и технологии нанесения различных упрочняющих и защитных покрытий вакуумно-дуговым методом. Разработанные в ХФТИ установки для нанесения таких покрытий, и давшие начало широкому промышленному применению метода, получили название «Булат» [5] . Установка была защищена пятью зарубежными патентами в США, Великобритании, Франции, ФРГ, Японии, Италии в связи с ведущимися в тот период переговорами с целью продажи лицензии.

В конце 70-х годов XX века Советское правительство решило открыть данную технологию для Запада. В 1979 г. Джозеф Фильнер (H. Joseph Filner) [6] , глава американской фирмы «Noblemet International» [7] , случайно узнал об этой технологии во время своей деловой поездки в СССР, увидев там её эффективное и успешное применение в промышленности для упрочнения металлорежущего инструмента. В результате данной фирмой с правительством СССР было подписано лицензионное соглашение, и вместе с другими инвесторами для промышленного внедрения на Западе ей была специально создана фирма «Multi-Arc Vacuum Systems» (или «MAVS»), годовой доход которой за два года вырос с нуля до 5 млн долларов США [8] . Фирме «Multi-Arc» была продана исключительная лицензия на оборудование и технологию осаждения покрытий TiN на режущий инструмент из быстрорежущих сталей. Территория действия соглашения составила более 40 стран Северной Америки, Европы и Азии.

В 1981 году было подписано лицензионное соглашение с ВТП «Политехна» (ЧССР) на продажу технологии упрочнения режущего инструмента методом КИБ.

В 1980—1985 годы осуществлялось патентование усовершенствований установки «Булат», переданной по лицензии. Были получены охранные грамоты на 36 патентов в 15 странах мира [9] .

Из нескольких конструкций катодно-дуговых источников плазмы — основное устройство, осуществляющее испарение и ионизацию материала катода в вакуумной дуге, — существовавших в СССР в то время, для использования за пределами СССР была разрешена конструкция Л. П. Саблева (с соавторами).

Читайте также:  Установка гбо на газель 405 инжектор

Процесс

Вакуумно-дуговой процесс испарения начинается с зажигания вакуумной дуги (характеризующейся высоким током и низким напряжением), которая формирует на поверхности катода (мишени) одну или несколько точечных (размерами от единиц микрон до десятков микрон) эмиссионных зон (так называемые «катодные пятна»), в которых концентрируется вся мощность разряда. Локальная температура катодного пятна чрезвычайно высока (около 15000 °C), что вызывает интенсивное испарение и ионизацию в них материала катода и образование высокоскоростных (до 10 км/с) потоков плазмы, распространяющихся из катодного пятна в окружающее пространство. Отдельное катодное пятно существует только в течение очень короткого промежутка времени (микросекунды), оставляя на поверхности катода характерный микрократер, затем происходит его самопогасание и самоинициация нового катодного пятна в новой области на катоде, близкой к предыдущему кратеру. Визуально это воспринимается как перемещение дуги по поверхности катода.

Так как дуга, по существу, является проводником с током, на неё можно воздействовать наложением электромагнитного поля, что используется на практике для управления перемещением дуги по поверхности катода, для обеспечения его равномерной эрозии.

В вакуумной дуге в катодных пятнах концентрируется крайне высокая плотность мощности, результатом чего является высокий уровень ионизации (30—100 %) образующихся плазменных потоков, состоящих из многократно заряженных ионов, нейтральных частиц, кластеров (макрочастиц, капель). Если в процессе испарения в вакуумную камеру вводится химически активный газ, при взаимодействии с потоком плазмы может происходить его диссоциация, ионизация и возбуждение с последующим протеканием плазмохимических реакций с образованием новых химических соединений и осаждением их в виде плёнки (покрытия).

Заметная трудность в процессе вакуумно-дугового испарения заключается в том, что если катодное пятно остаётся в точке испарения слишком долго, оно эмитирует большое количество макрочастиц или капельной фазы. Эти макровключения снижают характеристики покрытий, так как они имеют плохое сцепление с подложкой и могут по размерам превосходить толщину покрытия (проступать сквозь покрытие). Ещё хуже, если материал катода-мишени имеет низкую температуру плавления (например, алюминий): в этом случае мишень под катодным пятном может проплавиться насквозь, в результате чего или начнёт испаряться материал опорного держателя катода, или охлаждающая катод вода начнёт поступать в вакуумную камеру, приводя к возникновению аварийной ситуации.

Для решения данной проблемы производят тем или иным способом непрерывное перемещение катодного пятна по большому и массивному катоду, имеющему достаточно большие линейные размеры. В основном, как уже упоминалось выше, для управляемого перемещения катодных пятен по поверхности катода используются магнитные поля. С этой же целью, при применении цилиндрических катодов, во время работы (испарения) им можно сообщать вращательное движение. Не позволяя катодному пятну оставаться на одном месте слишком долго, можно использовать катоды из легкоплавких металлов, и при этом уменьшить количество нежелательной капельной фазы.

Некоторые компании также используют так называемые фильтрованные дуги (англ. filtered arcs ), в которых макровключения отделяются от потока плазмы с помощью магнитных полей (см. ниже).

Оборудование

Катодно-дуговой источник конструкции Саблева (наиболее распространён на Западе) состоит из короткого массивного катода-мишени цилиндрической формы, изготовленного из электропроводного материала, и открытого с одного (рабочего) конца. Этот катод окружён находящимся под плавающим потенциалом кольцом (экраном), которое служит для защиты нерабочих поверхностей от воздействия дуги. Анодом для данной системы может служить либо стенка вакуумной камеры, либо отдельный анод. Катодные пятна инициируются зажиганием дуги при помощи механического триггера (поджигающего устройства) на открытом конце катода путём кратковременного замыкания цепи между катодом и анодом. После зажигания дуги катодные пятна двигаются самопроизвольно хаотически по открытому концу катода или их движение задаётся посредством внешнего магнитного поля.

Существуют также многокатодные конструкции катодно-дуговых источников, позволяющие в едином технологическом цикле наносить комбинированные многослойные покрытия и/или покрытия из химических соединений сложного состава [10] , где каждый катод отвечает за нанесение своего материала или соединения на его основе.

В силу того, что катод-мишень испытывает активную бомбардировку ионами, вырываемыми с её поверхности, то в общем случае плазменный поток из катодно-дугового источника содержит не только отдельные атомы или молекулы, но и достаточно крупные их кластеры (так называемые макрочастицы), которые в некоторых случаях без какой-либо фильтрации мешают его эффективному использованию. Существует много разнообразных конструкций фильтров (сепараторов) макрочастиц, наиболее изученной из которых является конструкция с криволинейным плазмоводом (каналом), основанная на работе И. И. Аксёнова (с соавторами), опубликованной в 70-х годах XX века. Она представляет собой четверть тороидального канала, где с помощью принципов плазменной (ионной) оптики плазменный поток разворачивается под углом 90° к источнику плазмы, в результате чего нейтральные или слабоионизированные частицы и макрочастицы оседают на его стенках, не достигая обрабатываемой детали.

Существуют также и другие интересные конструкции фильтров, такие, например, как прямоканальная конструкция с встроенным катодом в форме усечённого конуса, предложенная Д. А. Карповым в 90-х годах XX века [ источник не указан 1454 дня ] . Эта конструкция, по сей день, довольно популярна как среди предприятий, производящих нанесение тонкоплёночных износостойких покрытий, так и среди исследователей в странах бывшего СССР [ источник не указан 1454 дня ] . Также существуют катодно-дуговые источники с протяжёнными цилиндрическими и прямоугольными катодами, но они менее популярны.

источник